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第91章 再现工程控制论(第1页)

同时极紫外光刻机的光路系统要求考虑的因素非常多,因为极紫外光刻机的光子能量非常高,几乎所有的材料都会吸收极紫外光。

而吸收了极紫外光必然会发热,发热就会带来材料的变形。对于需要纳米级成像的光刻机来说,简直就是灾难,基本就无法使用了。

如果不加控制,光路系统还有被烧毁的风险。

所以极紫外光刻机里,光源和每一面镜子的背后都有非常高效的冷却装置,把极紫外光照射产生的热量及时带走。

最后,光刻机研发真正困难的是成像质量补偿。光刻机对光刻图形的要求是近乎完美的,但设备的生产是不可能做到完美的,镜头使用的材料不可能做到完美。

镜头打磨不可能做到完美,镜头组装也不可能做到完美。同时镜头材料和支撑材料都必然存在热胀冷缩的问题。

这些问题都会给最终成像效果带来误差,而且很多成像误差是不断变化的。

必须通过一系列办法进行校准和修正,甚至要求通过软硬件结合的自动化控制来实现实时成像补偿,这才是真正的难点。

还需要大量精密控制装置的支持专利。不仅实现起来非常困难,还要面临大量的专利陷阱。

这光刻机,本来就是十几个发达国家,联合研制出来的一个产品,涉及到的行业之广,设计到的仪器之顶尖,都是咱们暂时达不到的。

只能说咱们开局太晚了啊!综合那么多高端的精密仪器,我们搞不来……”

陈小川听了之后点点头,众人也是听的云里雾里,但是最终还是知道一个结论,

这光刻机,不好造!

但是陈小川又说:

“李院士说得对,也是说的很全面。这的确是我们的一个不足之处,不,这是我们的很多不足之处。

我们没有那么多高端的仪器制造,没有那么精密的仪器,设备,甚至在光学上,我们也比不过卡尔蔡司。

但是咱们华夏人最不缺的就是创新精神,难道说咱们这芯片制造只能依靠光刻机吗?

没了张屠夫,咱们就要吃带毛猪?不,不可能,一定有其他的替代方案。

光刻机的复杂和精密以及小型化是他的一大优点,但是我觉得这也正是他们光刻机的一个缺点。

正是因为他们要把光刻机当做一个商品售卖,所以他们不得不做的精细,做的方便运输,所以一定要适合运输,只能做那么大一点儿~”

听了这个回答,李院士也是点点头,然后李院士说:

“是的,小川说的对,光刻机可以说是工业上的一颗明珠,是高端科技的集大成者!!

但是荷兰生产的光刻机基本上是外贸型的光刻机,产品不是送到鹰酱,就是送到湾湾那边。

所以在体积上做的不是很大,毕竟要通过海运从荷兰运到别处。

但是送到我们这里的光刻机,都不是最新一代的光刻机,都要比最新一代落后一代或者两代才行,这就是为了让华夏的芯片产业,永远落后于鹰酱等西方国家。

这可以说是一个阳谋,但是我们之前没法破解,因为我们没有光刻机的核心技术。”

陈小川听了也是点点头:

“李院士说的对啊!

但是我这里要说的是,小,虽然是光刻机的一大特点,但这也是他的悲哀之处!

这同时也是一个没有广袤国土,没有巨大的人口规模,没有巨大的消费市场的国家的悲哀!

他们没有那么大的市场来承担光刻机大型化,甚至巨型化带来的后果,但是我们能啊!”

“我们拥有广袤无垠的国土面积,拥有巨大的人口基数,拥有全世界消费潜力最大的市场!这就让这种光刻机巨型化有了用武之地啊!

难道这种先进技术也要出口吗?根本用不着!”

“所以,我们要制造芯片,就要符合我们的国情!!

我们没有超高精密仪器,难道就不能粗糙一点?

我们没有制造那么小的光刻机的能力的话,那么我们做一个光刻厂呢?

把光刻机的小型激光辐射,变成巨大的光源辐射,我们也应该能够做到吧!

嘿嘿!”

“光刻厂??”

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