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622章 G1光刻机（第1页）

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“非常好！”杨子光高兴地点头说道，“你们能在这方面跑到所有公司的前面对我们国家具有重大的战略价值，你们一定要牢牢地占领这个技术制高点，这样我们国家才不会被国外卡脖子。”

随后杨子光也是视察了瑞星科技公司，当杨子光见到瑞星科技公司正在测试试验的第三代高端G1光刻机。

瑞星科技公司和燕京物化所联合研制的氟化氪激光光源去年已经变得成熟了，为瑞星科技公司提供了稳定可靠的光源。

同时瑞星科技公司也是根据杨杰的技术方案开发出了掩模台、工件台位置测量装置及测量方法，并且申请了国家专利。

这套装置采用了若干激光干涉仪取代电容传感器，使水平向和垂直方向的传感器一致，摸索出了一套独有的算法，对测量过程中引入对各向测量干涉仪的进行了权重分配，使得对掩模台位置测量更加精确。

瑞星科技公司通过数年的艰苦研发，总算是将工件台和掩膜台运动精度控制在了三纳米的程度，这一切是瑞星科技公司和机床研究院和数个研究所一同攻关的成果，光是这么一个系统参与的技术人员就达到了上千名。

三阳光学厂在使用了机床研究院超高精度的磨床后和天马科技公司提供的研磨液后总算是将这些锅盖大小的镜头光学孔径数值提升到了1.33，已经接近了光学镜头的极限。

德国蔡司能把光学镜头的光学孔径数值已经能做到1.4，已经逼近了1.49这个极限，三阳光学厂能做到这个地步已经是非常了不起了。

这些镜片是三阳光学厂一位有着几十年镜头研磨经验的老技师在超高精度磨床和测量仪器的配合下手工研磨出来的。

虽然这样的光学镜头产量少，生产时间很长，但是却是让三阳光学厂在光学镜头技术上迈入了一流的光学器材厂商行列。

而瑞星科技公司也是为这套光刻机研发了减震器，采用了内部封闭框架，将工作台与外部环境隔离，保持水平，减少外界振动干扰，并维持稳定的温度、压力。

为了达到这些要求，瑞星科技公司上下所有人员都是削尖脑袋不停地想办法解决各种工程技术上的难题，总算是将双工件台的第一台氟化氪激光光源的沉浸式光刻机给制造了出来。

这也就意味着瑞星科技公司这套光刻机可以支持的极限制程工艺在32纳米，如果在这个期间三阳光学厂能将镜头的光学孔径数值提高到极限，那么可以支撑制程工艺来到22纳米！

瑞星科技公司并没有向外界公布这个消息，也是等着明年上半年推出的时候好好地震一下艾斯摩尔和佳能和尼康这些光刻机厂商的。

“你们还真是有什么宝贝都喜欢藏着不让人看到呀！”杨子光感慨地说道。

“首长，我们公司内部有一套完整的测试试验流程和标准，我们不希望推出去的光刻机产品是有缺陷的，瑞星科技公司要保证每一台交到客户手上的设备都是非常可靠的。”

“你们在这套光刻机上面投入了多少的研发费用？”杨子光问道。

“总共加起来在50多亿。”杨杰回答道。

“你们投入这么多，能收回成本吗？”杨子光关切地问道。

“请首长放心，我们这套光刻机我是非常有信心的，”杨杰笑着道：“瑞星科技公司测试试验的过程中这套设备运行是很可靠的，也是世界上第一台氟化氪光源的沉浸式光刻机，在技术上来说我们已经走到了前面，我也有信心可以从全世界的光刻机市场里面拿到很高的市场份额，毕竟这么好的东西大家都会想要的。”

“这么一台光刻机你们准备要卖多少钱啊？”杨子光问道。

“瑞星公司内部也是做过核算，出口价格定在四千万美金是比较合适的，国内的话还要便宜些。”

杨子光张了张嘴，好几秒钟后才说道：“你们这个出口价格一台抵得上两架枭龙战斗机了！”

现在枭龙的价格每架大概在2000万美金，也是华夏国现在出口的最高端的产品了，不过G1光刻机却是要马上替代掉它了。

在前世的记忆中，艾斯摩尔在沉浸式光刻机取得突破后尼康和佳能的的高端光刻机基本被吊打，主流半导体产线中只有少数低阶老机龄的光刻机还是尼康或者佳能，其他基本都是艾斯摩尔的天下。

尼康的光刻机也只能用卖的超级便宜来抢市场了，光刻机的单价只有2000多万美金，而同类型的艾斯摩尔氟化氪光刻机却是卖到了7000万美元左右。

相比之下，尼康跟佳能就显得非常窘迫了。

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