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他随手拿起一片,撕掉上面的薄膜保护层,ito薄膜电极反射出淡紫色的光芒。
有了这批ito基片,加上周五到货的掩膜版,材料已经备齐,许秋准备尝试制备一批新图案的器件。
许秋看了眼吴菲菲,在整理她的文章,没有做器件的意愿,他便带着莫文琳进入实验室。
韩嘉莹见状,也跟了过去。
许秋和韩嘉莹眼神交流了一番:“?”、“!”
随后,他向莫文琳吩咐道:“今天用这种新基片,做20片器件出来,条件和之前的那几批一样。”
莫文琳看了看许秋,又看了看跟在他身后叉着腰的韩嘉莹,点点头道:“好的。”
“你去教莫文琳做器件吧,我去换掩膜版。”许秋随意说道。
韩嘉莹歪头考虑了一会儿,说道:“好~”
许秋将掩膜版、遮挡板等传入旁边蒸镀手套箱,随后进入手套箱,打开蒸镀舱。
蒸镀仪器的掩膜版被固定在样品台下方,拆卸起来还是比较麻烦的。
第一步,需要将整个样品台卸下来。
许秋观察了一番,发现样品台依靠三个螺母被固定在蒸镀舱的最上方。
他先将样品台上的样品支架取下,减轻样品台的重量,随后找了找手套箱中的工具篓,但是并没有找到扳手之类的大型工具,便打算直接用手把三个螺丝给拧下来。
上手之后,他发现这个样品台安装好之后一直没有更换过掩膜版,螺丝非常的紧。
许秋只能大力出奇迹,口中发出“嗯——”、“嗯——”的怪叫声用来蓄力,引得莫文琳和韩嘉莹侧目连连。
好不容易把三个螺丝卸了下来,连带着还有6个垫片。
许秋把它们小心的放在一个用封箱带围成的小空间内,防止遗失。
随后,他开始检查样品台。
样品台是三层的夹心结构,上层用来放样品支架,中间夹着掩膜版,下层就是一个中空的方形支架,用来固定掩膜版。
固定掩膜版的位置还有四个六角螺丝,许秋试了试,这回固定的非常紧,直接用手拆不下来,需要用六角螺丝刀。
他在工具篓中翻了翻,发现了几个不同尺寸的六角螺丝刀,就是那种外部圆柱形,内部中空六边形的样式,在试了几种型号后,许秋找到了合适的那个。
有了工具,这回拆卸起来容易多了,许秋小心的把卸下来的四个六角螺丝和之前的几个螺母、垫片放在一起。
“人与动物之间最主要的区别就是会不会使用工具,古人诚不欺我啊。”内心吐槽了一句,许秋开始更换掩膜版。
原来的掩膜版,在遮挡处已经被镀上了不知多少层的金属材料,现在看上去是银光闪闪的,应该是上周五蒸镀时用的银电极。
许秋将新的掩膜版换上,重新用四个六角螺丝固定,并记住了图案的方向。
基片是正方形的,如果暂时忽略对称性的话,在安放至样品支架上时,一共有四种方向可以摆放。
之前从漂亮国进口的ito基片的图案,旋转180度可以重合,因此,四个方向中两个方向是正确的摆放方向。
龚远江他们的风车状ito图案,旋转90度即可重合,因此,四个方向可以随意摆放,都不影响最后蒸镀的结果,除非,把基片的正反面弄反了……
而现在这种地球仪形式的ito图案,要旋转360度,才能重合,也就是说四个方向中只有一个方向是正确的,如果方向不对,蒸镀出来的器件就是失败的。
想把新的掩膜版安装上去,还是有些难的,因为必须要对的非常准确才行,假如这边偏差01厘米,蒸镀出来的金属电极同样会偏移01厘米,假如这边安装歪了,蒸镀出来的金属电极也将是歪的……
光是对准位置,许秋就花费了五分钟。
主要是他第一次,没什么经验。
ps:继续四章万更。
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