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蓝光LED采用的衬底材料不是IC中常见的硅晶圆,而是晶体结构和GaN接近,但晶格常数失配的蓝宝石。
由于晶格失配,GaN外延层和蓝宝石衬底之间存在失配应力,应力的释放会导致GaN内部产生大量缺陷。这样的材料是没有使用价值的。
“是,是我说的。但晶体缺陷问题,不是我发现的,它是蓝光LED道路上的一个公认难题。”
“我当然知道问题不是你发现的。”刘民学用手轻轻拍了下桌子。“可晶体缺陷,到底发生了没有?”
“晶体缺陷的问题,我们也遇到了。”王青山把两手一摊。“但问题被陈泉解决了。”
“解决了?怎么解决的?谁解决的?是修改设备了吗?我怎么没有收到修改通知书呢?”
刘民学感觉才两天没有关注,MOCVD项目组里居然发生了如此多的事情。
“陈泉没有修改设备,而是修改了工艺步骤。他用了两段的加热方式。先在较低的温度生成一层GaN。然后再把温度提高到正常的1000度。由于应力会在低温GaN层被释放掉,最后生成的高温GaN,晶体品质就没有问题了。”
“就这么简单?先用低温,再用高温?”
刘民学简直不能相信自己的耳朵。GaN晶格缺陷问题,名气非常大。但陈泉的方案,既没有增加设备,也没有增加成本。
“对,就这么简单。”
王青山撇了撇嘴。“说实话,我到现在仍有种做梦的不真实感。陈泉来了以后,直接上手操作。他给我的感觉,怎么说呢....就好像他经常用这台MOCVD一样。可这台设备,明明我们才生产出来。”
“毕竟设备是他设计的,他的操作比生产人员熟练,倒也正常。”刘民学不以为意。“那接下来你们要做什么?直接验收签字,收钱?”
“还没有。”王青山摇头。“陈泉说,他要组织一次蓝光LED实际生产,来验证一下GaN的晶体质量。”
“这怎么可以?”
刘青山一听就炸了。“MOCVD的验收,怎么能跟蓝光LED捆绑在一起?我们顶多给他出具个GaN的检测报告,这还是在我们已经有信心的基础上。”
“是啊,我也是这么说的。因为地球人都知道,蓝光LED有个p型结掺杂失效的老大难问题。”
王青山耸了耸肩。“可他坚持。”
“这个话,由我来说!明天我过去找你们。我们是设备生产商,只对设备负责。更不要提,这台设备还是他自己设计的!”
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