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第三百三十七章 没有我的同意谁也别想制造euv光刻机（第3页）
石昊将公文包放在曹莽的手上。
“蒋工，我知道你对我们的技术有质疑，如果你想知道这件事是不是真的，你签下这份保密文件就知道了。”曹莽拿出一份保密协议放在桌子上笑道。
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蒋尚义没想到曹莽竟然玩这套，他犹豫了一下还是签下自己的名字。
曹莽在确认过没有问题后，将几份文件从包里拿出来。
“蒋工，您先看一下这些论文还有专利再说。”曹莽笑道。
第一份专利就让他惊讶不已。
蒋尚义不可思议地看向曹莽。
浸润式微影技术...
这项技术是他在2000年邀请林本坚加入台积电后，由林本坚本人亲自研发出来的成果。
他们在2002年时公布过这项技术，只是这两年来都没有什么突破和进展。
这两年尼康和amsl也在研究这个东西，不过他们目前也没有研究出什么成果来。
没想到麒麟已经有了成熟的理论，而且还把相关的专利给注册下来了。
也就是说他们之前的研究都白费了，如果没有麒麟集团授权的话，他们根本没有办法使用这项技术。
要不是麒麟的技术比他们的还要先进成熟，他都怀疑是不是台积电内部出内鬼了。
然而后续的论文和专利让他更是惊讶。
麒麟在光刻机上的理论至少领先他们二十年。
特别是euv光刻技术上面。
如果没有瓦森纳协议的限制，麒麟在光刻机方面的技术，那绝对是世界领先级别的。
“即使你们的理论知识很先进，可是华夏没办法将他们制造出来。”蒋尚义无奈摇头道。
“不管是台积电，又或者是尼康，佳能，amsl，没有麒麟的授权，谁也别想制造euv光刻机，瓦森纳可以限制华夏，麒麟一样可以限制瓦森纳成员。”曹莽笑道。
duv技术已经快要到头了euv才是光刻机的未来。
如今台积电和amsl已经在研究euv了，可是euv核心专利都在曹莽的手里。
如果没有曹莽的授权。
那么他们可以考虑放弃euv的研究了，否则他们再研究下去也是白费力气。
可是想要找到一个新的方向去研究又哪有那么容易？
最好的结果就是他们光刻技术上有新的突破，否则就只能等着麒麟超越他们了。
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