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第二百八十章 小型光刻机(第2页)

“啊!”

方佩玲眼睛顿时睁大,指着白云天道:“你刚才还说我们没有能力制造的,原来是骗我!”

“当然没有骗你!

要想制造英特尔那种等级的生产线,我们的确没有能力。它需要特种合金冶炼企业,来提供制造这套设备的生产线的各种特种合金;它还需要不低于数万吨级的大型液压设备,来对大型设备进行锻压成型处理;它更需要配套的伺服电机企业,来提供高精度的伺服电机系统;它同时需要成熟的数控设备设计、制造能力,来完成生产线制造。

这一切,还不是半导体制造设备的必要条件,而只是为了制造出,生产半导体设备的生产线制造的必要条件!

有了这套生产线,才能谈得上研发、设计、制造半导体制备设备!

你看,这些条件里,我们哪样有?”

“那你怎么说……”方佩玲被他绕过来绕过去地分析,彻底给搞迷糊了,眼睛里全是小圈圈,傻乎乎地望着白云天,已经不知道说什么好了。

白云天给她萌萌的样子给逗笑了,一摊手:“我说的是做不出来和英特尔那么大的半导体设备,但是比它小,以公司的制造能力,我觉得可以试试。”

“原来是这么回事!”

方佩玲这才恍然大悟,拍了拍饱满的胸脯,让脑中一团乱麻的思维,重新恢复清明,谈了谈小脑袋,好奇道:“那你准备做的设备,会有多小?”

白云天给她问住了,脑袋后仰,回想了一下设计数据,估摸出大概的体积:“大概会有一人来高吧,不会比它更大了,体积吗,就跟一个衣柜差不多。”

“那就不能对八英寸晶元进行光刻处理了?”方佩玲来了这么久,各种技术术语背了一肚子,也能跟得上趟。

“只能作三英寸的。”白云天很是遗憾地摊摊手。

芯片内部晶片尺寸大约有拇指盖大小,考虑到晶元是圆形,边缘部分没有足够空间来放置晶片,所以每块晶元都不能得到百分之百完全利用。

这还要受到晶元制备技术的影响,现在的技术,制备出来的晶元,越靠近边缘,缺陷越严重。国际通行的晶圆制备,可利用面积只有百分之七十左右。

由此可知,一块三英寸晶元哪怕光刻成功率百分之百,也就能切割出不到一百块晶片。

只有八英寸光刻机晶片数的九分之一!

可见差距之大。

这种小型的光刻机,多是放在实验室,进行小规模制备,验证研究人员的设计思路,绝对没有谁会疯狂到用它来进行工业化生产。

“这么小啊……”方佩玲仓促间,也算不出能切割出多少可用晶片,但直观就感觉小好多,有些沮丧,“那个制备的线宽是多少呢?”

“零点五微米!”白云天简短答道。

“什么?”

方佩玲像是被针刺了一下,猛然从座位上弹起来,一脸的不能置信,小心翼翼地望着白云天,握着拳头紧张道:“白总,你该不是又在开玩笑吧?”

她可是看过简报,英特尔最新的制程也就零点五微米,难道他们第一次制造的光刻设备,就能达到英特尔的水平?

这怎么可能!(小燕文学WwW.XiaoYanwenXue.CoM)

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