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第四百九十六章 此生无憾（第2页）

定他前进速度的，从来不是寻路的过程，而是有着怎样的交通工具。

他可以一直走在正确的道路上，偶尔步入一个岔路，在地上捡到一点不知道谁丢的钱。随后，他就可以用这钱去买一辆自行车，在接下来的路上骑得更快、更轻松，还有空看看美丽的风景。

光刻机的制造就是这样。其

他光刻机巨头，需要投入重金，请最优秀的研发人员，用最好的研发设备，潜心研究数年，中途还要用利益跟其他人交换技术，才能艰难地前行一步。

然而白云天不需要。他

在一开始，就清楚地知道自己在做什么样的东西，如何去做。

只要自己的技术够了，不需要试多少次，就能将东西做出来。这

对这时代的其他科研人员是不公平的。但

这世界，从来没有公平！

落后就要挨打，这是永世不变的至理箴言！

白云天从来不需要顾虑他人的感受，他只是根据自己的目标，坚定地走在自己的路上。

透镜、工作台很容易就做了出来。

并且他还根据后世设计，对工作台做了巨大改动，将惯常的一个工作台，改为了双工作台。当

一个工作台正在进行光刻工序时，另一个工作台则提前进行晶圆片更换、定位、微调、测量等前序工作。当那一个工作台完成光刻，两个工作台换位，立即就能进行下一道光刻工序，极大地提升了光刻效率。

光源部分，是唯一没有自造的。毕

竟汞灯只是光刻机光源，波长统一为365纳米，其制造难度并不是特别大。国际市场上的供应商很多，全面禁止对华出口的难度较大，很容易买到。白

云天为了省事，也就没自造，而是通过国内，直接购买了一套。

但是他还是做了小幅改进。就

是用将目镜浸入纯净液体中的方式，对光束波长进行一定幅度的折射，从而达到聚焦效果。

在后世，这叫浸入式光源。

现在各大光科技厂商正在就此技术，进行实验室研究阶段，尚未投入实用。既

然白云天手里有完整的技术，浸入式光源又能小幅改进光源聚焦，那又为何不用？实

际使用效果很好。

采用了浸入式光源技术以后，364纳米的光束波长被约束到了312纳米！

比之英特尔使用的350纳米技术，提升了近40纳米！

在白云天的亲自指导监督下，有李莲、华新等人直接领导，光刻机的制造进度快得惊人，透镜、工作台子系统、光源等最大的技术难点，一一被轻松攻克。经

过两个月的技术攻关——其实就是逐步熟悉制造工艺，一台双工位，最大晶元刻蚀尺寸为200mm的光刻机就顺利建造完成，顺利得让所有参与制造的技术人员感觉如在做梦。

“这就做好了？”当

最后一块挡板合上，螺丝拧紧，对光刻机通电系统测试通过，白云天宣布光刻机研发成功，其他人还是不敢相信这个事实，不由窃窃私语。连

下料到解决一个个技术问题，制作出子系统，再到总装，两个月就做出一台这时代最先进的光刻机……

这可能吗？就

算国内光刻机厂家，有现成图纸、熟练工，做一台出来也不止这点时间吧。“

行不行咱们试试不就知道了。”白云天看着众人表情，笑了笑没有解释。有

他带着一种接受了高端制造技术知识注入的新人亲自参与，两个月制造一台光刻机算什么。要

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