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夜晚,申城微电子,EUV专家小组,廖锡昌看着手中的实验报告,这已经是不知道第多少次极紫外光击打液态锡的测试了,通过验证的3个数学模型,每种都进行了上千次的测试,目前都没有获得最终的成功。中科院那边验证的两个模型中,有一个可以跑到最后,但最终的输出功率却达不到要求。梁圆走进廖老办公室,把大灯打开,“老师,只开台灯对视力影响不好。”说完走到饮水机,给廖老倒了杯水,接着又从抽屉里拿出一瓶药,“医生都说了,您不能这样每天都熬下去了,今天的降压药又忘吃了。”廖锡昌放下资料,“小圆来了啊,没事,最近稳定许多,少一天关系不大,一晃马上就要进入中旬了,你去看看柴文政他们,从拿到模型后到现在都没休息过。”梁圆没听廖老的,走到身前,把药放在面前的桌子上,一副不吃她就不离开的架势。见廖老吃完药后,她才说道:“刚从实验室过来,劝不听,自从拿到模型后,柴组长跟丁冉教授分了两个组,不分昼夜的实验,始终没得到想要的效果,老师,您说不会是简易模型的问题。”“这不好说,实验室那边的各种参数都达到了EUV光刻机的环境,但是光能的吸收力度远超我们的想象,你看这份报告,最终可用的光能才12W,距离最低要求25W还差一倍以上。”梁圆安慰道,“从理论验证完成到实际落地实验,这个过程从来都是漫长的,我们的速度已经很快了。”“我当然知道这点,只是10月份晶圆厂就要揭幕了,没有一台EUV镇厂,影响太大了,国际形象受损,国外的那些搞技术的也会笑话我们,这还是在有资料的情况下,否则我无法想象要如何才能完成EUV的研发。”廖老低沉的声音回荡在安静的办公室里,梁圆看着心里也非常难受,只能不断安慰,“前两天小路还在打电话跟我说,让您注意身体,不用急,也别去管外面怎么说,10月出不来也没关系,现在已经很好了。”听到自己学生的消息,廖老神色变得有精神了些,“小路最近做了几件漂亮的大事啊,我这个老师都替他骄傲,学生在外面冲锋陷阵,老师当然要给他争口气,放心吧,我垮不了。”说完又拿起手中的资料,在桌上详细查看了起来。光学系统实验室,小组二十几号人还在调试,这些都是从相关研究所过来的精英,有几人还是23所过来的同事。一名戴着厚厚眼镜的男人说道,“柴教授,前脉冲肯定是没问题的,我们小组观察过上百次,几乎是没有起伏的。”柴文政眼眶凹陷,这几个月足足瘦了20多斤,沙哑着嗓子,“单次脉冲没什么问题,击打也能保证同步,最有可能出问题的还是匀速,每次击打的间隔时间仍然有误差。”站他旁边的是一名老教授,年纪比柴文政还大,来自清大紫光的专家,“老柴,有了模型的加持,你刚才说的误差是在可承受范围之内,我反而认为是第三块与第四块镜片的问题,每次到第五块光能就降到了20%以下,吸收占比太大了。”“这已经是更换的第三批镜片了,而且这些镜片都是通过校验的。”“丁教授那边提议直接组装实验,我们这个实验室空间还是太大了。”眼镜男人说道。“实验室里的环境完全是真空状态,无尘级别也达到了最高要求,这边得不到验证,就算装起来,也不可能成功,空间应该不影响。”老教授说道,“不一定,虽然从各项参数来看,里面的环境达标,但那只是我们现在的检测设备给出的结果,会否有未知原因导致光能被吸收呢?”这样的争论从拿到数学模型开始实验到现在,每天都在发生,但这半个多月的收获却一点也不小。至少他们从上百个模型中,找到了最适合的三个,上千次实验中也获得了不少的经验。次日一大早,路阳见到廖老时,心中充满了愧疚,上次在张老办公室就一直说要过来的这边,结果都被各种事情打断。“或许我是怕见到廖老,怕给他压力,又或者我心中也在期望着小组这边能顶着这种压力做出成果,路阳,你变了!”心中各种情绪不断翻动。脸上一直挂着微笑,添油加醋的给廖老说着最近的事情,他知道廖老爱听,特别是在国外发生的事,廖老问得最多。办公室内已经很久没有廖老洪亮的笑声了,梁圆还未到办公室,就听到了笑声,脸上表情一喜。“哎呦,这不是路总吗?今天有时间过来看我们了?”路阳不好意思的说道,“圆姐,实在抱歉,最近……”“他现在是一家几万人企业的董事长,能做到这步已经很厉害了,我们都该为小路感到骄傲。”廖老越是替他说话,路阳越是内疚,鼻子有些发酸,赶紧岔开话题,“对了,圆姐,柴教授跟丁教授那边怎么样了?”小主,这个章节后面还有哦,请点击下一页继续阅读,后面更精彩!“上个月拿到数学模型,最近都在加班加点的实验,听说昨天两人又吵起来了?”廖老笑道,“哈哈,他们俩啊,每天都要吵几次的,这种分歧很正常。”梁圆见廖老今天心情不错,声音恢复了往日的洪亮,脸上笑得更开心了,“这次不一样了,丁教授想要组装光刻机来做实验,柴教授坚持原来的方案,想实验成功后再组装。”她知道路阳喜欢听这种科学实验上的事,于是滔滔不绝的把光学小组最近的情况都说了一遍,甚至国家从有关实验室调来许多大能的事也说了。见路阳面色激动,廖老猜到了他的心思,一把按住路阳的肩膀,摇了摇头,“要相信他们,有压力才有动力,我们不能总是走捷径。”上次在睿芯的事,芯片小组高层的人是知道的,还专门开过会讨论,至少到现在为止,上面从没主动要求路阳使用过他的能力,廖老知道后甚至在会上发了火,对应若涵也是一顿骂。EUV里面十几万个零部件,谁知道还有多少错误,这种风险他肯定不会让路阳冒。“老师,我知道的!我只是想去看看,您放心,我不会冲动的。”“那行,我跟你一起去!”廖老对这个学生的性格还是清楚的,一冲动,什么事都敢做。应若涵在门口站了半天,没有进屋,拖到今天才过来,未必没有她的原因。喜欢穿越就被抓,我拯救华夏芯片()穿越就被抓,我拯救华夏芯片。
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